陈宝钦作科普报告

有这样一位科学家，他始终坚守初心，一直从事半导体光掩模制造与光刻技术研究，勤奋踏实、爱岗敬业、无私奉献；他在平凡岗位上屡创佳绩，著作等身、誉满学林；82岁的他甘当“科学播种机”，至今仍活跃在科普讲台，被孩子们亲切地称为“魔方爷爷”。他就是中国科学院微电子研究所研究员陈宝钦。

以勤补拙的“笨学生”

1942年，陈宝钦出生于福建省福州市，从小便对自然科学表现出浓厚的兴趣。初中时，他曾参照科普杂志《知识就是力量》，制作出能收听电台的“矿石收音机”。与优秀的动手能力相比，他的学习表现并不突出，他形容自己“反应慢、记性差，还不如286处理器”。

想要超越别人，唯有笨鸟先飞。陈宝钦在自家猪圈上的小阁楼里勤学苦读，最终以优异的成绩被保送至福州高级中学。1960年，他考入北京大学物理系，师从中国科学院院士、中国半导体物理学研究开创者之一黄昆。

进入大学后，从未接触过的图形、符号、公式，让陈宝钦感到十分吃力，甚至产生过退学回家种地的念头。在同学的鼓励下，他重拾信心，坚持每天下课后将课堂上潦草的记录整理成字迹工整、图文并茂的笔记，并将这些笔记随身携带，随时翻读。大学期间的勤奋学习，为陈宝钦以后的科研工作打下了坚实基础。

1968年，陈宝钦被分配到中国科学院，从此开启了与微光刻技术的“长相厮守”。

初心不改的“勤杂工”

陈宝钦说：“我经历了许多‘最’，最脏、最苦、最累、最危险的事都经历过。其中，我认为最有意思也最有意义的，是干了一辈子半导体微光刻技术。”

早期的光刻掩模制造非常简陋，依靠手术刀、钢板尺、铜版纸、红漆、黑漆、普通照相机等设备，手工制作光刻掩模版。在外人看来，这项工作就是给别人“打杂”。陈宝钦却觉得，国家离不开信息产业，信息产业离不开集成电路，集成电路离不开芯片制造，而微光刻技术是芯片制造的关键技术。因此，从事微光刻技术研究是一项非常重要的工作。

凭着这份初心，陈宝钦埋头钻研微光刻技术，一干就是50年。其间，他先后获得国家科学技术进步奖二等奖2项、国家技术发明奖三等奖1项，以及多项由北京市和中国科学院颁发的科技类奖项；先后为《中国大百科全书》《集成电路产业全书》等十余部著作撰稿，主持起草制定《微电子学微光刻技术术语》等多项微光刻技术国家标准，在国内外发表专业论文百余篇。

讳疾忌医的“拼命三郎”

陈宝钦不常去医院，不是因为身体健康，而是因为工作忘我，经常顾不上自己的身体。

有一次，微电子所引进了一台新型设备，由于个别部件体积过大，只能拆卸后通过超净线密封门。别人有顾虑不敢拆，陈宝钦就亲自上手操作。操作时，他不慎从椅子上摔下来，摔得颈椎、腰椎生疼，尤其是尾椎疼得厉害。但考虑到设备安装、调试、验收和试运行工作都非常重要，不能马虎，更不能耽误，他拒绝了同事送他去医院的好意，忍痛坚持工作。直到所有工作完成，去医院检查后才发现，他的尾椎骨粉碎性骨折后已自行固化。医生十分惊讶：“尾椎摔成这样你是怎么坚持下来的？”陈宝钦淡淡地说：“因为忙，分不开身，坚持一下，后来也就不疼了。”

事必躬亲的“工作狂”

陈宝钦喜欢自己动手，大到科研设备安装，小到打扫卫生，只要自己能做就绝不安排给他人。

有位日本工程师曾这样问陈宝钦：“同样是从日本进口的电子束光刻设备，别的单位经常找我们维修，你们为什么不找？”陈宝钦回答：“日常小问题我们自己能解决，不麻烦你们那么远过来。”

不仅工程设备，日常网络、电脑等安装和维修，甚至学生工位的安装调试，陈宝钦都会参与。有一次，他因为穿着蓝大褂躺在地上安装工位，被一个刚报到的研究生误以为是工人。

因为对工作的热爱与执着，陈宝钦还差点“失踪”。有一年春节，陈宝钦为了赶制一批电子束光刻实验芯片，一直工作到大年初一凌晨。出大门时，他同保安互道新春快乐。到家后，为了不打扰已经休息的家人，他轻手轻脚进入楼上的书房休息。清晨起床的家人发现他没在卧室，立刻到所里找他，却从保安那里得知他已经离开单位很久了。遍寻无果后，家人最终选择了报警。这时，陈宝钦回来上班了，弄得大家哭笑不得。

和蔼可亲的“魔方爷爷”

2007年退休后，陈宝钦明确了自己新的定位——“科学播种机”。他在全国各地开展了数百场义务科普讲座，内容包括微电子知识、科学实验，甚至培养钻研精神的魔方教学，深受学生们欢迎，收获了数以万计的小粉丝，被孩子们亲切地称为“魔方爷爷”。

有一次，陈宝钦刚结束讲座，一名小朋友跑到讲台前，拉着他的手跳着说：“陈爷爷，我是您的‘铁粉’！”当天晚上，这名小朋友的妈妈在家长微信群里写道：“孩子回家后很激动，因为今天微电子所的陈爷爷给他们上课。孩子说，现在到处都离不开微电子技术，国家缺人才，他要听陈爷爷的，好好学习，将来学好微电子技术，做好接班人！”

在讲座中，陈宝钦时刻不忘向听众传递科学家精神。他说：“登山中，能登顶的总是极少数，大部分人或为后勤、或为助手，默默地为登顶工作作奉献。我觉得，‘做嫁衣’没什么不好，干不了大事，多干点小事，也是作贡献。最怕的是老想着干大事，都争着做大事，结果大事做不成，小事又不愿干，终将一事无成。”一位大学生听完陈宝钦的讲座后，在微博中写道：“陈老师从事的研究是服务性质的，他丝毫没有觉得地位低，而是兢兢业业坚守这个领域，甘为他人登顶攀峰‘做嫁衣’，这种精神令我折服！”

陈宝钦就这样在年轻人心中播下了科学种子，他相信这些种子终会生根发芽、开花结果。

（作者系微电子所党委办公室副主任）